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微(wei)振(zhen)控制(zhi)在現行國家標準《電子工業潔凈廠房(fang)設(she)計(ji)規(gui)范》GB50472中有關微(wei)振(zhen)控制(zhi)的規(gui)定主要(yao)有：潔凈廠房(fang)的微(wei)振(zhen)控制(zhi)設(she)施的設(she)計(ji)分(fen)階(jie)段進行，應包括設(she)計(ji)、施工和投產(chan)等各階(jie)段的微(wei)振(zhen)測試、廠房(fang)建筑結構微(wei)振(zhen)控制(zhi)設(she)計(ji)、動力設(she)備隔振(zhen)設(she)計(ji)和精密儀器隔振(zhen)設(she)計(ji)等。
一 對(dui)有微振(zhen)控制要求的(de)潔(jie)凈廠房(fang)設計時應考(kao)慮(lv):
1 在結構選(xuan)型、隔振縫設(she)置(zhi)、壁板與地面(mian)及(ji)頂棚連接(jie)處，應按微振控制要求設(she)計。
2 潔(jie)凈室與周(zhou)圍輔(fu)助性站房內有強烈振(zhen)動的設備及其連(lian)接管道，應(ying)采(cai)取主動隔(ge)振(zhen)措施。
3應確定潔(jie)凈廠房內(nei)外(wai)各類振(zhen)源對潔(jie)凈廠房精密(mi)設備、精密(mi)儀(yi)器儀(yi)表位置處(chu)的(de)綜(zong)合振(zhen)動(dong)影響，以決定是否采取被動(dong)隔振(zhen)措施(shi)。
二 精(jing)密設(she)備、精(jing)密儀器儀表的容(rong)許(xu)振動(dong)值(zhi)，應由生產工藝和設(she)備制造部(bu)門提供。當生產工藝和設(she)備制造部(bu)門難以提供容(rong)許(xu)振動(dong)值(zhi)時，可參(can)照《隔振設(she)計規(gui)范(fan)》GBJ 22執行。
三 精密設(she)(she)備(bei)、精密儀器(qi)儀表的被動隔(ge)振設(she)(she)計應具(ju)備(bei)下列(lie)條件:
1 周(zhou)圍振源對(dui)其綜合影響(xiang)的(de)振動數據。
2 設備、儀(yi)器儀(yi)表的型號、規格及(ji)輪廓尺寸圖。
3 設備、儀器儀表的質(zhi)量(liang)、質(zhi)心(xin)位置及質(zhi)量(liang)慣性(xing)矩。
4 設(she)備(bei)、儀(yi)器儀(yi)表的底座(zuo)外(wai)輪廓圖、附屬裝置(zhi)、管道(dao)位置(zhi)及(ji)(ji)坑、溝、孔洞尺寸、地腳螺(luo)栓及(ji)(ji)預埋件位置(zhi)等。
5設備(bei)、儀器儀表(biao)的調平要求(qiu)。
6 設備(bei)、儀(yi)器儀(yi)表的容許振動值。
7 所選(xuan)用或(huo)設(she)計的隔(ge)振器或(huo)隔(ge)振裝(zhuang)置的技術參數、外(wai)形尺寸及(ji)安裝(zhuang)條件(jian)。
四 精密設備、精密儀器儀表(biao)的被動隔(ge)振設計(ji)應(ying)考(kao)慮:
1 隔振臺座(zuo)的剛度。
2 設備、儀(yi)器(qi)儀(yi)表運行時，由于質量及質心位置的(de)變化引起隔振臺座傾斜的(de)校正措施。
3 隔振系統各向阻(zu)尼比不應小于0.15。
4 隔振措施(shi)不應影響潔凈室(shi)內的氣流(liu)(liu)流(liu)(liu)型。
五 精(jing)密(mi)設備、精(jing)密(mi)儀器儀表的被動隔振措(cuo)施宜采用能自動校正(zheng)傾斜的空氣彈簧隔振裝(zhuang)置。對供(gong)應(ying)空氣彈簧用的氣源應(ying)進行(xing)凈(jing)化處理。
