潔凈室(區)性能檢測
3.1通則
3.1.1 潔凈室(區)應定期(qi)進行性(xing)能測試。以認證潔凈室(區)始終符合本規范的要求。
3.1.2 潔凈室(區)性能(neng)測(ce)試(shi)認證工作,應由專門檢測(ce)認證單位(wei)承擔,并應提(ti)交檢測(ce)報告(gao)。
3.1.3 測(ce)試和認證工作之前,系統應(ying)達到穩定運行。測(ce)試儀表應(ying)在標(biao)定證書有效使(shi)用期內。
3.1.4 潔凈室(區)的占用狀態應有空態、靜態、動態,其性能測試和認證宜為靜態或動態。
3.2潔凈室(區)性能測試要求
3.2.1 確認(ren)清凈室(shi)(區)符合本規范要求,應進行下列基本測試∶
1 空氣潔(jie)凈度等(deng)級測(ce)定;
2 靜壓差;
3 風速或(huo)風量。
3.2.2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量認證測試的較長時間間隔應符合。
靜壓差和風速或風量認證的測試要求
注:1潔凈(jing)室(shi)(區)運行中已(yi)對粒子濃度、風速、靜(jing)壓差進行連續監測,且其(qi)測試(shi)(shi)值均(jun)符合本規范要(yao)求時(shi)(shi),認(ren)證的測試(shi)(shi)時(shi)(shi)間(jian)間(jian)隔可延長,具體時(shi)(shi)間(jian)間(jian)隔,可與認(ren)證單位洽商。
2 空氣(qi)潔(jie)凈度等級認證,可在靜態或者動態檢(jian)測,洽商確定。
3 風(feng)量測定(ding),應采(cai)用風(feng)速計在風(feng)口(kou)或風(feng)管(guan)測定(ding)。
3.2.3電子工業潔凈室(區)的認證測試,除空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量測試外,還應根據需要進行規定的洽商選擇測試項目。
潔凈室測試方法
4.1 風量或風速的測試
1.1 對于(yu)單(dan)向流潔(jie)凈(jing)室,應采用截面(mian)平均(jun)風(feng)速和(he)截面(mian)乘積的(de)(de)方法確定送風(feng)量,并(bing)應取離有效(xiao)過(guo)濾(lv)器 300mm 垂直于(yu)氣流的(de)(de)截面(mian)作為測試平面(mian)。應將測試平面(mian)分(fen)成相(xiang)等的(de)(de)柵(zha)格,每個柵(zha)格尺寸應為 600mm×600mm 或(huo)(huo)末(mo)端(duan)空(kong)氣過(guo)濾(lv)器尺寸,測點(dian)應在柵(zha)格心點(dian)或(huo)(huo)不應少于(yu)3 點(dian)。每一(yi)點(dian)的(de)(de)測試時間不應少于(yu)10s。應記錄平均(jun)值、大(da)值和(he)小值,并(bing)應以算術(shu)平均(jun)值作為平均(jun)風(feng)速。
4.1.2 對于非單向流潔凈室,每一點的測試時間不應少于10s。3 在每個末端空氣過濾器或散流器處,應采用風口法、風管法、風罩法等測量送風風速確定送風量,每個測試位置的測點數不應少于3點。
4.1 風量或風速的測試
4.4潔凈度的(de)檢測(ce)
4.1.1 應使用采樣量大于 1 L/min 光學粒子計數器,應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。
4.4.4 當潔凈室(區)僅有一個采樣點時,則在該點應至少采樣 3次。
4.5 氣流流型的檢測
4.5.1 氣(qi)流流型的檢測,宜采用氣(qi)流目測法。
4.5.2 氣流(liu)目測法(fa)有示蹤線法(fa)、示蹤劑注(zhu)入法(fa),并應(ying)用(yong)圖像(xiang)處理技(ji)術記錄和處理。示蹤線法(fa)所用(yong)纖維或示蹤劑的(de)微粒都(dou)不應(ying)成為潔凈室(shi)(區)的(de)一種污染(ran)源。
4.5.3 示蹤線法應(ying)為(wei)通過(guo)觀(guan)察放置在測試(shi)桿末端或(huo)氣(qi)(qi)流中細鋼絲格柵上的絲線或(huo)單根(gen)尼龍(long)纖維等,直接目測得到氣(qi)(qi)流方向或(huo)因干(gan)擾引(yin)起的波動。
4.5.4 示(shi)蹤(zong)劑注入法,可采用(yong)純(chun)水噴霧或化學法生成的乙醇(chun)/正(zheng)二醇(chun)等(deng)示(shi)蹤(zong)劑粒子的特(te)性(xing),在高強度光源下進行觀察或做成圖像。
4.5.5 應采用圖(tu)像處(chu)(chu)理(li)技(ji)術進(jin)行氣流目測,本法(fa)一般是與(yu)示蹤法(fa)結合,將在攝像機或(huo)膜(mo)上的粒子圖(tu)像等經技(ji)術處(chu)(chu)理(li)得到氣流特性。
4.5.6 氣流目測的測點位置、儀器等,應根據潔凈室(區)的具體條件洽商確定。
4.6溫濕度的檢測
4.6.1 溫度(du)、相對(dui)濕度(du)的檢(jian)測應(ying)在潔凈室(區(qu))內氣流(liu)分(fen)布均勻狀態測試,并應(ying)在凈化空調(diao)系(xi)(xi)統試運(yun)轉(zhuan)合格(ge)后安排進(jin)行。溫度(du)、相對(dui)濕度(du)檢(jian)測應(ying)在凈化空調(diao)系(xi)(xi)統已經運(yun)轉(zhuan),并應(ying)至(zhi)少穩定運(yun)行 1.0h后進(jin)行。
4.6.2 相(xiang)對濕度檢測(ce)應(ying)將潔凈工作區劃分為等面積網(wang)格(ge),每(mei)(mei)格(ge)較大面積應(ying)為 100m2,應(ying)每(mei)(mei)格(ge)—個測(ce)點,但每(mei)(mei)個房間不應(ying)少于 2 個測(ce)點。
4.6.3 檢測用探測器應設在潔凈(jing)室(shi)(區)內的(de)工作高度,且距(ju)潔凈(jing)室(shi)(區)的(de)吊(diao)頂、墻(qiang)和地面不應少于 300mm。并應考量潔凈(jing)室(shi)(區)內 可(ke)能存(cun)在的(de)熱源的(de)影響。
4.6.4 檢測時間應至少1.0h,并應至少6min 進行 1 次(30s)讀數、記錄。
4.7 噪聲檢測
4.7.1 潔凈室(區)內的(de)噪聲檢測應采(cai)用帶倍頻程分析的(de)聲級計。
4.7.2 潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面 1.1~1.5m,距墻應大于 3m;檢測點的布置宜按清凈室(區)面積均分,宜每 100m2設一檢測點。
4.8照度測試
4.8.1 潔凈室(區)內照度檢測(ce)宜采用便攜式自動記錄照度計。
4.8.2 照(zhao)(zhao)度(du)檢測應在室(shi)內溫度(du)穩(wen)(wen)定、光源(yuan)光輸(shu)出(chu)穩(wen)(wen)定后(hou)進(jin)行。潔凈室(shi)(區)照(zhao)(zhao)度(du)檢測不應包括生產(chan)設備(bei)等的局部照(zhao)(zhao)明和備(bei)用(yong)照(zhao)(zhao)明。
4.8.3 照度(du)(du)檢測點(dian)應設(she)在工(gong)作高度(du)(du),宜距地(di)面(mian) 0.85m,應每 25m2設(she)一個(ge)測點(dian)。