關于潔凈室檢測各項目的方法總結，下邊一起來了解下吧：

一、說明

過濾網的(de)(de)泄漏(lou)(lou)測(ce)試(shi)應(ying)當是無塵室測(ce)試(shi)中，較復雜(za)、較耗時間的(de)(de)測(ce)量(liang)項(xiang)目。泄漏(lou)(lou)測(ce)試(shi)的(de)(de)目的(de)(de)，是要確認：

1. 濾網(wang)的材料無(wu)破損，

2. 安裝恰當。

濾(lv)(lv)(lv)(lv)網(wang)(wang)出廠前當(dang)然要(yao)(yao)經過(guo)泄(xie)漏(lou)測試(shi)，但是(shi)在(zai)搬運(yun)與(yu)安裝過(guo)程難保完全無(wu)損，而且濾(lv)(lv)(lv)(lv)網(wang)(wang)的(de)重(zhong)(zhong)要(yao)(yao)性(xing)又大于(yu)一切，因(yin)此安裝完畢(bi)都要(yao)(yao)做一次掃描，以(yi)確認濾(lv)(lv)(lv)(lv)材無(wu)任何泄(xie)漏(lou)。另外，若是(shi)安裝不(bu)恰當(dang)，微(wei)(wei)(wei)粒(li)會從邊(bian)(bian)框漏(lou)進無(wu)塵室風(feng)口。就算是(shi) FFU 系統(tong)，天(tian)花板(ban)上是(shi)負(fu)壓，若是(shi)邊(bian)(bian)框機有微(wei)(wei)(wei)粒(li)日后仍舊會產(chan)生問(wen)題(ti)。因(yin)此，邊(bian)(bian)框掃描一樣重(zhong)(zhong)要(yao)(yao)。濾(lv)(lv)(lv)(lv)網(wang)(wang)泄(xie)漏(lou)測試(shi)基本上是(shi)利用(yong)濾(lv)(lv)(lv)(lv)網(wang)(wang)上游的(de)顆粒(li)，然后在(zai)濾(lv)(lv)(lv)(lv)網(wang)(wang)下表面與(yu)邊(bian)(bian)框用(yong)微(wei)(wei)(wei)粒(li)探(tan)測儀器搜尋有無(wu)泄(xie)漏(lou)。泄(xie)漏(lou)測試(shi)有幾(ji)種不(bu)同(tong)的(de)方式，適用(yong)在(zai)不(bu)同(tong)的(de)場合。

測試方式有：

1. 氣(qi)膠光(guang)度(du)計測(ce)(ce)試(shi)法， 2. 微粒(li)計數器(qi)測(ce)(ce)試(shi)法， 3. 效(xiao)率(lv)測(ce)(ce)試(shi)法， 4. 外氣(qi)測(ce)(ce)試(shi)法。后兩種現在使用非常少。

二(er)、方法

氣溶膠光度(du)計(ji)測試法

氣(qi)膠光度計(ji)(ji)測(ce)試(shi)(shi)法是(shi)早期的(de)測(ce)試(shi)(shi)方式(shi)，但是(shi)因為效(xiao)果非常好(hao)，到今天仍舊沿用。氣(qi)膠光度計(ji)(ji)（ Aerosol Photometer ）是(shi)微(wei)粒(li)(li)計(ji)(ji)數器的(de)一種，也是(shi)使用雷射(she)科技，但是(shi)它在掃描空氣(qi)樣本的(de)微(wei)粒(li)(li)之(zhi)后(hou)，所(suo)給的(de)是(shi)微(wei)粒(li)(li)的(de)總體強(qiang)度，不(bu)是(shi)微(wei)粒(li)(li)數目(mu)。DOP 是(shi)一種油性化(hua)(hua)學物質，現(xian)改用PAO,加(jia)(jia)壓或加(jia)(jia)熱霧化(hua)(hua)之(zhi)后(hou)，可以產生次微(wei)米等(deng)級的(de)微(wei)粒(li)(li)，可用來模(mo)擬無塵室的(de)微(wei)粒(li)(li)，因此被當成驗證微(wei)粒(li)(li)。微(wei)粒(li)(li)計(ji)(ji)數器測(ce)試(shi)(shi)法

半導體業方面，早期(qi)也是使(shi)(shi)用(yong) DOP/PAO 與(yu)氣膠光度計，但(dan)是隨著制(zhi)造密度增加，油性(xing)挑(tiao)戰微粒(li)逐漸不容許在無塵(chen)室(shi)使(shi)(shi)用(yong)，因(yin)此(ci)出現(xian)使(shi)(shi)用(yong)干式灰(hui)塵(chen)當成(cheng)挑(tiao)戰微粒(li)，在上(shang)游施放，然后(hou)用(yong)微粒(li)計數器在下游掃描，尋找泄漏(lou)，基本概(gai)念(nian)完全(quan)相(xiang)同。經過科學家一(yi)步步研究結果，發(fa)現(xian) PSL 因(yin)為(wei)微粒(li)的(de)粒(li)徑(jing)與(yu)濃度可以控制(zhi)，因(yin)此(ci)是目前廣為(wei)使(shi)(shi)用(yong)的(de)標準微粒(li)。使(shi)(shi)用(yong)時只要把 PSL 溶液霧化(hua)，導入濾網上(shang)游即可。

潔凈度測試

一、說(shuo)明(ming)

潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)是無(wu)塵(chen)(chen)室性能測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)的核心，氣(qi)流測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)、壓力測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)，與泄(xie)漏測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)，都(dou)(dou)(dou)只在確認無(wu)塵(chen)(chen)室的潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)不受外來(lai)影響(xiang)，因此潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)都(dou)(dou)(dou)放(fang)在前述幾項測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)都(dou)(dou)(dou)通過之后(hou)。潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)完畢，與落(luo)塵(chen)(chen)有關(guan)的性能因素就都(dou)(dou)(dou)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)完畢，其(qi)它測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)對潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)影響(xiang)不大，或是屬于其(qi)它環境測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)。

二、測(ce)試儀器(qi)

潔凈度(du)測試使用微(wei)(wei)(wei)粒(li)計(ji)數器(qi)，儀器(qi)須經(jing)校正合格且仍在有(you)效期限(xian)內，交附報告(gao)時須附合格之校正文件。微(wei)(wei)(wei)粒(li)計(ji)數器(qi)有(you)不同規(gui)格，常見的是流量 1cfm ，小粒(li)徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單(dan)位多(duo)是立方英呎。至(zhi)于應(ying)使用何種設備，要依(yi)業主的規(gui)范而定。一般(ban)在產業界，多(duo)依(yi)以下方式選擇(ze)微(wei)(wei)(wei)粒(li)計(ji)數器(qi)。

Class 1000 或更(geng)高：0.5μm

Class 100 ：0.3μm ，0.5um

Class 1 到 Class 10 ：0.1μm

若(ruo)是(shi)業主要求的粒(li)徑范圍(wei)超過單(dan)(dan)一(yi)微(wei)粒(li)計數(shu)(shu)(shu)器的范圍(wei)，則應該(gai)使用兩(liang)部微(wei)粒(li)計數(shu)(shu)(shu)器。目前市面上少見立(li)方公尺的微(wei)粒(li)計數(shu)(shu)(shu)器，因此若(ruo)是(shi)無塵室的潔凈度是(shi)以 ISO 為基準，則要把結果作換算(suan)。單(dan)(dan)位換算(suan)，不影響上限的計算(suan)程序(xu)。

三(san)、測試步(bu)驟：

(1) 確定空調系統之測(ce)試(shi)調整與平衡已完(wan)成(cheng)，濾網之風速及泄漏測(ce)試(shi)均已完(wan)成(cheng)，并已修換(huan)破損(sun)部(bu)分。

(2) 確認測(ce)試(shi)位置與(yu)測(ce)試(shi)點(dian)數。

(3) 取(qu)樣(yang)時間：每點的取(qu)樣(yang)時間依照等級與粒徑不同而異(yi)，若取(qu)樣(yang)時間小(xiao)于一分鐘(zhong)，則以(yi)一分鐘(zhong)為準。

(4) 測試位置應均勻(yun)分布在(zai)無塵室內，避(bi)免在(zai)產(chan)生大量粒子之附近，且(qie)將檢測儀器以(yi)適當(dang)之架臺支(zhi)撐，不可以(yi)手持支(zhi)撐。

(5) 測量點數以(yi)公式(shi)計(ji)算（與 209E 相(xiang)同(tong)）。

四、驗收(shou)標準：

潔凈(jing)度(du)的驗收(shou)基準(zhun)有二，首(shou)先是每(mei)點(dian)的微粒測量平(ping)均(jun)值須低于規定值。潔凈(jing)度(du)的二個驗收(shou)基準(zhun)就是，任(ren)一隔間若需使用信賴度(du)上(shang)限分析(xi)，則該分析(xi)值也須小于規定值。

風速及(ji)平衡性測試

一、測試目(mu)的(de)

氣(qi)流(liu)是控(kong)制潔(jie)凈度與溫(wen)濕度的(de)為主要因素，它(ta)對噪音也(ye)有一些(xie)影響。因此風(feng)速(su)測(ce)量(liang)(liang)，都是放在無塵室測(ce)試(shi)的(de)一步。風(feng)速(su)測(ce)量(liang)(liang)的(de)目的(de)，是確(que)認濾網送出的(de)氣(qi)流(liu)滿足設計規范，其次是確(que)認氣(qi)流(liu)的(de)均(jun)勻度。在某些(xie)場合可能因現場的(de)限制，室內換氣(qi)量(liang)(liang)還(huan)須用風(feng)速(su)乘以(yi)出口面積來換算。

單流(liu)(liu)向型(xing)無塵室(shi)(shi)，很多都是(shi)(shi)設計成垂直層流(liu)(liu)，因(yin)此風(feng)速均勻(yun)度非常重要(yao)，只有均勻(yun)的垂直層流(liu)(liu)，才能有效(xiao)排(pai)除(chu)微粒污染。非單流(liu)(liu)向型(xing)無塵室(shi)(shi)，由于微粒控制的觀念是(shi)(shi)稀釋(shi)，不是(shi)(shi)立即排(pai)除(chu)，一般而言其換氣量(liang)遠比風(feng)速重要(yao)。但是(shi)(shi)需注明是(shi)(shi)濾網風(feng)速測量(liang)或是(shi)(shi)無塵室(shi)(shi)室(shi)(shi)內風(feng)速測量(liang)。

二、 使用(yong)儀器

無塵(chen)室里面(mian)使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)的 HEPA/ULPA 濾網，其(qi)送出氣流的速(su)度多(duo)半都控(kong)制在(zai) 0.5m/s 以內，因此(ci)所使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)的風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)須是低速(su)型(xing)。濾網風(feng)(feng)(feng)速(su)測(ce)量(liang)可使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)單點(dian)式風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)如電子式壓力(li)計(ji)(ji)配合(he)皮氏管(guan)、熱線式風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)。也可以使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)多(duo)點(dian)式風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)如 Shortridge Velgrid 16 點(dian)風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)。輪葉式風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)因使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)范圍(wei)不(bu)同，通常不(bu)在(zai)無塵(chen)室內使(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)。熱線式風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)（ Hot Wire ）雖然高頻響應良好，但是低速(su)時 〈 0.5m/s 以下 〉 準確性很低，因此(ci)不(bu)很適用(yong)(yong)(yong)，一般熱反應風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)常用(yong)(yong)(yong)的是 Thermeister 式風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)。轉輪式風(feng)(feng)(feng)速(su)計(ji)(ji)由(you)于本身(shen)重量(liang)問題，也不(bu)適用(yong)(yong)(yong)低速(su)。檢驗(yan)儀器須經校正合(he)格(ge)，且仍在(zai)有效期限內。

三、 測試步驟

(1) 在圖面上(shang)記錄濾網尺寸、數量并編號。

(2) 取樣點位于濾網(wang)下方 75-150mm 處(chu)。

(3) 每一個(ge)濾(lv)網(wang)下(xia)，若是使用單點(dian)式風速計，則每 1 平(ping)方(fang)英尺取(qu)一點(dian)；若是使用多點(dian)式風速計，則每 4 平(ping)方(fang)英尺取(qu)一點(dian)。

(4) 每測量點須取 5 秒的平(ping)均(jun)。

(5) 依驗收標準分析(xi)所(suo)有(you)風速，計算平均值(zhi)、標準差、相(xiang)對標準差，并(bing)標明(ming)不合格測試點。

(6) 記(ji)錄(lu)所有(you)原(yuan)始數(shu)值，以及分析后的(de)數(shu)值。重要的(de)是(shi)在非單流向型無(wu)塵室測試時，特(te)別注意取樣時風速(su)計不(bu)可受到干(gan)擾，以免影響(xiang)準確度。

四、數(shu)據分(fen)析

風(feng)速測量很簡(jian)單(dan)，但(dan)是(shi)均勻度(du)須由(you)數據(ju)分析來判(pan)定。均勻度(du)是(shi)由(you)相對標(biao)

準(zhun)差來代表，其(qi)計算步驟(zou)如(ru)下。

1. 平(ping)均(jun)值：2. 標準差

風量及(ji)平衡性測試

一、說明

風(feng)(feng)量(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)目的(de)通常是用(yong)(yong)(yong)來(lai)計算(suan)(suan)換(huan)氣量(liang)(liang)(liang)(liang)，一般是在非單(dan)流向(xiang)型(xing)無(wu)塵室，或是測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)空(kong)調系統中各式各樣的(de)出(chu)風(feng)(feng)口(kou)(kou)、回(hui)風(feng)(feng)口(kou)(kou)、排(pai)氣口(kou)(kou)等的(de)風(feng)(feng)量(liang)(liang)(liang)(liang)時(shi)使(shi)用(yong)(yong)(yong)。只有(you)(you)在無(wu)法使(shi)用(yong)(yong)(yong)氣罩的(de)場合（氣罩體積(ji)(ji)較大，有(you)(you)時(shi)會受(shou)限制），才能使(shi)用(yong)(yong)(yong)風(feng)(feng)速乘以面積(ji)(ji)等于(yu)風(feng)(feng)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)方式，用(yong)(yong)(yong)風(feng)(feng)速來(lai)換(huan)算(suan)(suan)風(feng)(feng)量(liang)(liang)(liang)(liang)。使(shi)用(yong)(yong)(yong)風(feng)(feng)速換(huan)算(suan)(suan)風(feng)(feng)量(liang)(liang)(liang)(liang)時(shi)，須注意(yi)出(chu)風(feng)(feng)口(kou)(kou)之有(you)(you)效面積(ji)(ji)以及修正(zheng)系數的(de)取得(de)。在回(hui)風(feng)(feng)口(kou)(kou)和排(pai)氣口(kou)(kou)，使(shi)用(yong)(yong)(yong)換(huan)算(suan)(suan)法的(de)準確(que)度非常差(cha)，應盡(jin)量(liang)(liang)(liang)(liang)避免。同樣氣罩通常可(ke)以測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)送(song)風(feng)(feng)與回(hui)風(feng)(feng)，正(zheng)值代表送(song)風(feng)(feng)，負值代表回(hui)風(feng)(feng)或排(pai)氣。須注意(yi)的(de)是反向(xiang)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)時(shi)，其測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)范圍通常會降低。

二(er)、測試儀器

風量(liang)測量(liang)應當使(shi)用(yong)氣(qi)(qi)(qi)罩(zhao)（ Flow Measuring Hood ），氣(qi)(qi)(qi)罩(zhao)的(de)測量(liang)范圍是 15~2500 cfm ，準確(que)度要(yao)求為讀數(shu)的(de) ±百分之3。由于氣(qi)(qi)(qi)罩(zhao)本身會產生(sheng)壓損，因此其形(xing)狀很重要(yao)，應盡量(liang)使(shi)用(yong)原(yuan)廠氣(qi)(qi)(qi)罩(zhao)。若有必要(yao)自(zi)行制造罩(zhao)子(zi)，應注意氣(qi)(qi)(qi)流順(shun)暢并且做詳細比對(dui)。氣(qi)(qi)(qi)罩(zhao)的(de)校(xiao)正(zheng)(zheng)非(fei)常重要(yao)，須(xu)主機(ji)連(lian)同罩(zhao)子(zi)一起(qi)校(xiao)正(zheng)(zheng)，才能(neng)得到準確(que)校(xiao)正(zheng)(zheng)值。檢驗時須(xu)使(shi)用(yong)校(xiao)正(zheng)(zheng)合格且仍在有效期限的(de)儀器，于正(zheng)(zheng)式(shi)檢測前及繳(jiao)交報(bao)告(gao)時均須(xu)檢附(fu)合格之校(xiao)正(zheng)(zheng)文(wen)件。

三、測試步(bu)驟：

(1) 在圖(tu)面上記錄濾(lv)網尺(chi)寸、數量并編號。

(2) 使用恰當(dang)尺寸氣罩(zhao)將出風口完(wan)全罩(zhao)住，然(ran)后測量與計錄。

(3) 依驗收標(biao)準分析所有風量，計(ji)算平均值(zhi)、標(biao)準差、相對標(biao)準差，并標(biao)明不合格測試點。

(4) 記錄所有(you)原始數值，以及分析后的數值。

四、 數據分析：

風量均勻度的(de)計(ji)算與(yu)風速向同，都是由(you)相對(dui)標準差來(lai)代表，其(qi)計(ji)算步驟如下。

1.平(ping)均(jun)值(zhi)：將所(suo)有風測量量值(zhi)取算數平(ping)均(jun)

2. 標準(zhun)差：計(ji)算所有(you)風測量量值(zhi)的標準(zhun)差

壓差(cha)測試

一、 說明

壓(ya)(ya)力(li)(li)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)目(mu)的(de)是(shi)(shi)確認無塵(chen)室空調(diao)系(xi)統(tong)的(de)壓(ya)(ya)力(li)(li)設定。無塵(chen)室內維持(chi)相當的(de)正(zheng)壓(ya)(ya)以維持(chi)潔(jie)凈(jing)(jing)度，這(zhe)已經是(shi)(shi)個 common sense ，在 209 的(de)舊版(ban)本中，正(zheng)壓(ya)(ya)有建議值(zhi)，但是(shi)(shi)后來(lai)就取消了(le)。目(mu)前常(chang)見(jian)的(de)正(zheng)壓(ya)(ya)值(zhi)約是(shi)(shi) 10 到 25 Pascal 之間(jian)。壓(ya)(ya)力(li)(li)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)時(shi)機，應該是(shi)(shi)在風速、風量(liang)(liang)(liang)、平行(xing)度等與氣流直接相關的(de)測(ce)(ce)(ce)試結(jie)束(shu)之后立即(ji)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，尤其(qi)不可在潔(jie)凈(jing)(jing)度測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)完畢(bi)之后才測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)壓(ya)(ya)力(li)(li)。因(yin)為如果(guo)壓(ya)(ya)力(li)(li)不對，要立刻調(diao)整(zheng)以免影響潔(jie)凈(jing)(jing)度。測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)時(shi)，所(suo)有門(men)窗(chuang)都須關上，所(suo)有的(de)風扇也須維持(chi)正(zheng)常(chang)運(yun)轉。

二(er)、測試儀器

壓(ya)(ya)力(li)測量(liang)(liang)可使用傾斜管(guan)壓(ya)(ya)力(li)計(ji)，指(zhi)針式(shi)(shi)壓(ya)(ya)力(li)計(ji)，或是電子式(shi)(shi)壓(ya)(ya)力(li)計(ji)，總(zong)之(zhi)(zhi)只(zhi)要(yao)測量(liang)(liang)范圍與準(zhun)(zhun)確度(du)滿足(zu)要(yao)求即可。壓(ya)(ya)力(li)計(ji)之(zhi)(zhi)準(zhun)(zhun)確度(du)要(yao)求為讀數(shu)的 ±百分之(zhi)(zhi)5 ，測量(liang)(liang)范圍式(shi)(shi)壓(ya)(ya)力(li)設計(ji)值而(er)定，一般 0~5mm Aq （ 0–50 Pascal ）即可涵蓋室內外壓(ya)(ya)力(li)差之(zhi)(zhi)測量(liang)(liang)。儀器需(xu)經(jing)校正合格且仍在有效期(qi)限(xian)內之(zhi)(zhi)才可以使用，檢測前及交附報(bao)告時均須檢附合格之(zhi)(zhi)校正文件。

三(san)、測(ce)試步驟

須(xu)在風速、風量、氣流等測(ce)試(shi)完(wan)成(cheng)后，才(cai)能測(ce)試(shi)壓力，并且排氣與 MAU 要(yao)完(wan)全正常運(yun)轉。

全部門與開(kai)口都要(yao)關(guan)閉。室外大氣壓力假設為 0.0mmAq 表壓力。

測定潔凈(jing)區域與(yu)相鄰(lin)較次(ci)級(ji)潔凈(jing)區域之(zhi)(zhi)壓(ya)差(cha)，再測量房間與(yu) Gowning room 之(zhi)(zhi)間壓(ya)差(cha)，之(zhi)(zhi)后測量 Gowning room 與(yu)外部(bu)之(zhi)(zhi)壓(ya)差(cha)。

建(jian)議壓差值為 5~12Pa ，并無強制規(gui)定(ding)。記錄(lu)所有數值。

溫濕度檢測

一、說(shuo)明

溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的目(mu)的是(shi)確(que)認室(shi)內之溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)控制在(zai)范(fan)圍(wei)之內，溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)對(dui)微粒(li)控制沒有甚么影響，因(yin)此溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)試屬于第三級測(ce)(ce)(ce)試（ Level 3 ）。但是(shi)因(yin)無(wu)塵(chen)室(shi)多半同時也是(shi)環控室(shi)，所以溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)常常就一(yi)(yi)并(bing)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)了(le)。溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)又分為一(yi)(yi)般測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和進階測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)（ General Tests and Comprehensive Tests ），一(yi)(yi)般測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)只是(shi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)在(zai)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)點的實時數據(ju)（單一(yi)(yi)測(ce)(ce)(ce)數據(ju)），適用在(zai)對(dui)溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)要(yao)(yao)(yao)求不高的場所。進階測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)就要(yao)(yao)(yao)紀(ji)錄(lu)在(zai)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)點一(yi)(yi)段長時間的溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)，目(mu)的是(shi)要(yao)(yao)(yao)觀(guan)察溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)隨時間的變(bian)化(hua)情(qing)形，以確(que)認濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)在(zai)控制之下。進階測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)適用在(zai)對(dui)溫(wen)(wen)(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)要(yao)(yao)(yao)求比較高的場所。

二、測試儀器：

常見的(de)(de)(de)溫(wen)(wen)(wen)濕度(du)儀(yi)器是電(dian)子式溫(wen)(wen)(wen)度(du)計(ji)與鏡(jing)面冷凝光學式濕度(du)計(ji)，一般(ban)測(ce)(ce)(ce)(ce)量和進階測(ce)(ce)(ce)(ce)量使(shi)用(yong)儀(yi)器的(de)(de)(de)精度(du)相(xiang)同，溫(wen)(wen)(wen)度(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)量范圍是 0-100 ℃ ，準確是 ±0.2 ℃ 。濕度(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)量范圍是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，準確度(du)是 ±2 ﹪ 。一般(ban)測(ce)(ce)(ce)(ce)量要(yao)求溫(wen)(wen)(wen)度(du)之(zhi)顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi)值可顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi) 0.1 ℃ 的(de)(de)(de)變(bian)化，濕度(du)的(de)(de)(de)顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi)值可顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi) 1 ﹪ 的(de)(de)(de)變(bian)化。進階測(ce)(ce)(ce)(ce)量則要(yao)求溫(wen)(wen)(wen)度(du)之(zhi)顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi)值可顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi) 0.05 ℃ 的(de)(de)(de)變(bian)化，濕的(de)(de)(de)顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi)值可顯(xian)(xian)示(shi)(shi)(shi)(shi) 0.1 ﹪ 的(de)(de)(de)變(bian)化。檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)儀(yi)器需校(xiao)正合格且仍在有效期限內者，于測(ce)(ce)(ce)(ce)試前或交附(fu)(fu)報告時(shi)均須(xu)檢(jian)附(fu)(fu)合格之(zhi)校(xiao)正文件。

三、測試程序：

確(que)認空調(diao)系(xi)統已經安裝完成，并(bing)已完成測試、調(diao)整、平(ping)衡(heng)。空調(diao)系(xi)統測試、調(diao)整、平(ping)衡(heng)可(ke)以平(ping)衡(heng)風量和(he)水量，使其達(da)到設計要求，為溫濕控制提供正(zheng)確(que)的運轉(zhuan)環境，因此系(xi)統要先平(ping)衡(heng)才能(neng)測試。

依據平面圖，列出各種溫(wen)濕度(du)要(yao)求區域，并使(shi)系統達到正常運(yun)轉狀況，系統應在溫(wen)濕度(du)自動控制之下，至少運(yun)轉 24 小時以上。

測試(shi)點(dian)數為(wei)每(mei)個(ge)房間至少量一點(dian)，并且每(mei)個(ge)溫濕(shi)度控制(zhi)區(qu)至少量一點(dian)，例如每(mei)個(ge) Dry Coil 的控制(zhi)范(fan)圍要量一點(dian)，測量高度為(wei) ( 高架 ) 地板上 1.00m 。

將(jiang)溫(wen)濕度傳感(gan)器放置同一位置，待穩(wen)定后開(kai)始記(ji)錄。

光照度測(ce)試

一(yi)、測前(qian)準備(bei)

潔(jie)凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成

測試(shi)前空調系統(tong)應已(yi)完成測試(shi)、調整、平衡，并已(yi)連續運轉24小時以上(shang)。潔凈室環境需清潔完成

二、測試(shi)目(mu)的(de)

此檢測動作在于(yu)確(que)認無塵室照明(ming)系統是否有達到設計要求。

三、測試儀器

專(zhuan)業照(zhao)度儀

四、測試(shi)步驟(zou)

無塵室光源至少使(shi)用100小時以上，測試前需點(dian)亮2小時以上。

確認測試點及配置(zhi)圖編號。

將照度(du)儀固定置于(yu)距離地板上1.2m高度(du)，待數值(zhi)穩(wen)定后(hou)量測10秒記錄(lu)。

噪音度測試

一、檢(jian)測準備

竣工圖(tu)面（初版）與相關規(gui)范確認(ren)

潔凈室所(suo)有開孔(kong)皆需封閉氣密處理完成(cheng)。

測試(shi)前空調(diao)系(xi)統應(ying)已完成測試(shi)、調(diao)整(zheng)、平衡(heng)，并已連(lian)續運(yun)轉24小(xiao)時以上。潔(jie)凈室(shi)環境(jing)需清潔(jie)完成。

二(er)、測試目的

此檢測動作在(zai)于確認無塵室噪音是否有(you)達到設計(ji)要求。

三、測試儀器

專業(ye)噪音儀

四、測試位置(zhi)

每40m2取1點(dian)為量測點(dian)，另針對業(ye)主要求局(ju)部增加測試(shi)點(dian)數。

五(wu)、測試步驟：

a.無(wu)塵室(shi)所有空調設備及公用設備均為運轉狀態。

b.確認測試點及配置圖(tu)編號。

c.將照(zhao)度(du)儀(yi)固(gu)定置于(yu)距(ju)離地板(ban)上1.2m高度(du)，高度(du)量測10秒后(hou)記錄(lu)為(wei)大值。

氣流(liu)流(liu)向(xiang)檢測

一、 測(ce)試目(mu)的

平行(xing)度(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)目的(de)，是觀(guan)察在工作(zuo)區域里面氣(qi)(qi)(qi)流(liu)的(de)運(yun)動(dong)模式，同時也可(ke)以觀(guan)察儀器(qi)設備對氣(qi)(qi)(qi)流(liu)的(de)影響。平行(xing)度(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)應該在氣(qi)(qi)(qi)流(liu)的(de)風速與均勻度(du)都測(ce)(ce)試完(wan)畢且通(tong)過之后進行(xing)，過早進行(xing)可(ke)能得不到正(zheng)確的(de)數據。

二(er)、 測(ce)試方法(fa)

一(yi)般(ban)而言平(ping)(ping)行(xing)(xing)度(du)的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，是(shi)由(you)(you)肉眼觀察所決(jue)(jue)定。使用的(de)(de)工具包括煙霧(wu)、水霧(wu)、 PFA 、和(he)輕質棉線(xian)(xian)。。煙霧(wu)或(huo)水霧(wu)的(de)(de)共(gong)同優(you)點是(shi)只要(yao)(yao)粒子夠小，煙霧(wu)可隨風飄揚(yang)，可正確的(de)(de)反映氣流運動(dong)模式。但是(shi)其共(gong)同問題是(shi)滯空性不足(zu)，觀測(ce)(ce)時間(jian)太(tai)短。測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)平(ping)(ping)行(xing)(xing)度(du)需要(yao)(yao)花一(yi)些時間(jian)，因此需要(yao)(yao)大(da)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)煙霧(wu)或(huo)水霧(wu)，對無塵室可能造(zao)成(cheng)污染(ran)。另一(yi)種(zhong)方式是(shi)使用輕質細(xi)線(xian)(xian)，讓細(xi)線(xian)(xian)隨風飄舞，然后測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣流平(ping)(ping)行(xing)(xing)度(du)。在無塵室內普遍(bian)使用新(xin)的(de)(de)高(gao)分子材料 Flo-Viz ，是(shi)用尼龍抽(chou)成(cheng)單(dan)絲所制成(cheng)，由(you)(you)于質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)很輕因此適(shi)合作無塵室平(ping)(ping)行(xing)(xing)度(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)平(ping)(ping)行(xing)(xing)度(du)的(de)(de)方法是(shi)立一(yi)根(gen)鉛垂(chui)(chui)線(xian)(xian)，然后在濾網下方施(shi)放煙霧(wu)或(huo)是(shi)安放細(xi)線(xian)(xian)，之后觀察所施(shi)放煙霧(wu)與(yu)鉛垂(chui)(chui)線(xian)(xian)的(de)(de)夾角，或(huo)是(shi)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)細(xi)線(xian)(xian)與(yu)鉛垂(chui)(chui)線(xian)(xian)的(de)(de)夾角，就(jiu)可決(jue)(jue)定氣流的(de)(de)平(ping)(ping)行(xing)(xing)度(du)。

三、測(ce)試儀器

1. 支(zhi)架 2. 鉛垂線 3.Flo-Viz 細線 4 .氣流(liu)流(liu)向檢測儀

四、測試步驟(zou)

1. 用支架(jia)設立(li)垂線作(zuo)為基準線。

2. 將細線(xian)在室(shi)內懸吊(diao)，使其自(zi)然(ran)下垂，細線(xian)會隨空(kong)氣流向飄移(yi)。計算偏移(yi)角 =tan-1( 懸吊(diao)線(xian)徧移(yi)量 /1220) 。6. 每 3m×3m 區域量 1 點。若是使用煙(yan)霧(wu)，其方式很(hen)類似，就是在濾網下施放煙(yan)霧(wu)，然(ran)后將鉛垂線(xian)的上端點移(yi)動到與煙(yan)霧(wu)相接觸(chu)，將紅線(xian)當成煙(yan)霧(wu)，再計算夾(jia)角就可以了(le)。